電子級高純氣體潔凈管道簡介及英國肖氏露點儀在微電子半導體生物制藥用戶的應用
微電子、光電子和生物制藥等行業(yè)對傳輸敏感或腐蝕性介質(zhì)的高純、潔凈管道系統(tǒng)一般都采用光亮退火(BA)、酸洗或鈍化(AP)、電解拋光(EP)及真空二次溶解(VIM+VAR)產(chǎn)品。主要產(chǎn)品:SADP露點儀|在線露點儀| 肖氏露點傳感器|肖氏露點儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點儀品牌|露點儀價格|露點儀批發(fā)|Hitech氧氣分析儀|Hitech熱導氣體分析儀|Hitech氫氣分析儀|露點儀廠家
A.電解拋光(Electro-Polished)簡稱EP。通過電化學拋光,可以極大地提高表面形態(tài)及結構,使表層實際面積得到*大程度的減少。表面是一層封閉的、厚厚的氧化鉻膜,能量接近合金的正常水平,同時介質(zhì)數(shù)量也會降為*少--通常適用于電子級高純氣體。電子級高純氣體潔凈管道簡介及英國肖氏露點儀在微電子半導體生物制藥用戶的應用
Electronic grade high purity gas clean pipe
B.光亮退火(Bright Annealing)簡稱BA。在加氫或真空狀態(tài)高溫熱處理,一方面消除內(nèi)部應力,另一方面在管道表面形成一層鈍化膜,以改善形態(tài)結構,減少能量水平,但不會提高表面粗糙度--通常適用于GN2,CDA,以及非工藝的惰性氣體。
C.酸洗或鈍化(Pickled & Passivated/Chemically Polished)簡稱AP和CP。管道經(jīng)過酸洗或鈍化,不會提高表面粗糙度,但可去除表面殘存的顆粒,降低能量水平,但不會減少介層數(shù)量--通常使用于工業(yè)級管道。電子級高純氣體潔凈管道簡介及英國肖氏露點儀在微電子半導體生物制藥用戶的應用
D.真空二次溶解潔凈管Vim(Vacuum Induction Melting)+Var(Vacuum ArcRemelting)簡稱V+V,為住友金屬磚利產(chǎn)品,經(jīng)過真空狀態(tài)下電弧條件下再次處理,有效提高了耐腐蝕性及表面粗糙度--通常適用在腐蝕性較強之高純電子級氣體上,如:BCL3,WF6,CL2,HBr等
英國SHAW在線露點儀Superdew3
1. 量程可選如下:`
SUPER-DEW3 -R 紅點(R): -80~-20℃
SUPER-DEW3 -P 紫點(P): -100~0℃
SUPER-DEW3 -G 灰點(G): -80~0℃
SUPER-DEW3 -Y 黃點(Y): -60~0℃
SUPER-DEW3 -RS 銀點(S): -100~-20℃
2、英國SHAW在線露點儀Superdew3特性:
★ 在線測定各種氣體的露點溫度
★ 干燥氣體時的保證精度為1PPM電子級高純氣體潔凈管道簡介及英國肖氏露點儀在微電子半導體生物制藥用戶的應用
★ 室內(nèi)空氣中一分鐘自動校準
★ 大型背光式液晶數(shù)字顯示
★ 標準的4~20MA或0~1號輸出
技術參數(shù)
二次表:(SuperDew)
★ 顯示精度:1%
★ 安裝類型:面板安裝, 開口尺寸:135mmx66mmx175mm(深)
★ 顯示:3 1/2位帶背光的數(shù)字顯示
★ 供電:220V AC @50Hz
★ 輸出:4-20mA標準信號輸出, 兩路繼電器高低報警輸出240V @3A
★ 校準:在空氣中自動校準
★ 可任意調(diào)節(jié)的高低報警輸出
★ 傳感器到儀表之間的距離可達1千米
★ ISO 9002質(zhì)量控制
★ 可選量程:-100℃~0℃/-80℃~0℃
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